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二維激光衍射法在直徑測量系統(tǒng)中的應(yīng)用

[摘要]  一種利用菲涅爾衍射效應(yīng)精確測量工件直徑的方法。該測量系統(tǒng)由處于相互垂直位置的兩組激光二極管和線陣CCD組成,利用工件激光衍射圖樣獲取投影邊界,以幾何方法計算工件直徑。本系統(tǒng)以數(shù)字信號處理器作為數(shù)據(jù)處理芯片,用大規(guī)模可編程邏輯拓展系統(tǒng)功能并控制CCD的時序。該測量系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡單,測量精度高,抗干擾性強等特點。
下載說明: 文件大。0.31MB | 文件格式:PDF | 上網(wǎng)時間:2009-03-25
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