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薄膜材料成分分析方法

[摘要]   到目前為止,對薄膜結(jié)構(gòu)和成分分析的研究方法已達(dá)一百多種。但它們具有共同的特征:利用一種探測束——如電子束、 離子束、光子束、中性粒子束等,從樣品中發(fā)射或散射粒子波,他們可以是電子、離子、中性粒子、光子或聲波,檢測這些粒子的能量、動量、荷質(zhì)比、束流強(qiáng)度等特性,或波的頻率、方向、強(qiáng)度、偏振等情況,來分析材料化學(xué)組成、原子結(jié)構(gòu)、原子狀態(tài)、電子狀態(tài)等方面的信息。
下載說明: 文件大。0.14MB | 文件格式:RAR | 上網(wǎng)時間:2009-04-16
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