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流量傳感器在微流體控制設備液體流量測量

2023-07-12 11:55

近年來在生物體液活檢領域微流控技術受到了極大關注。微流控(microfluidics)是使用微管道(尺寸為數(shù)十到數(shù)百微米)處理或操縱微小流體(體積為微升)的系統(tǒng)所涉及的科學和技術，是一門涉及化學、流體物理、微電子、新材料、生物學和生物醫(yī)學工程的新興交叉學科。

在微流控實驗過程中經常需要實時的了解實驗通路上的液體流量是多少以及液體流量的實時變化，以便實驗人員能夠及時的采取實驗方法達到做需要的實驗目的。而高精度的微流速控制技術是其中的難點之一，另外由于體液活檢的特點需要檢測系統(tǒng)以非接觸方式對體液進行快速、精準的檢測。

而檢測系統(tǒng)中與體液相接觸的部分一般以耗材形式出現(xiàn)，一次性的使用對成本的要求更高。目前，測量微流體實驗通路上的液體流量主要使用液體流量傳感器，工采網ISWEEK公司品牌氣體流量傳感器AFE-01的流量芯片，是歐洲原始生產廠家代工的公司。開發(fā)了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的高級別靈敏度，可以精確檢測達到0.001m/s的氣體流速變化。生產出體積只有5 mm x 3.5 mm x 0.2 mm的芯片。AFE-01流量傳感器由四個鉑薄膜電阻組成，基于流速的函數(shù)，通過了解熱傳遞，可以從維持恒定溫度所需的電壓補償量來確定流速。同時AFE-01流量芯片因為體積小且耐高溫（-20°C~150°C的工作環(huán)境)，很好的溫度補償電路，非常適合應用在發(fā)動機進氣流量計中使用。

原文標題 : 流量傳感器在微流體控制設備液體流量測量